純凈型勻膠機帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止勻膠過程中的雜質(zhì)污染廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時，可用此設(shè)備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨立工作，也可兩臺同時工作。

凈化型勻膠機技術(shù)參數(shù)：

名稱	純凈型勻膠機
特點	帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止勻膠過程中的雜質(zhì)污染。 設(shè)置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。 可設(shè)置時間--轉(zhuǎn)速曲線，程序控制勻膠工藝 7英寸液晶顯示屏，操作簡單易學(xué)無需專業(yè)學(xué)習(xí)
技術(shù)參數(shù)	勻膠時間：1-99秒  勻膠轉(zhuǎn)數(shù)：0-8000轉(zhuǎn)/分  凈化效果：100級（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)）  操作區(qū)風(fēng)速：0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流()  適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠  控制范圍和精度：轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3%  時間控制范圍為：1-99秒，精度為±5%  轉(zhuǎn)速調(diào)整：采用PID調(diào)節(jié)，精度高。  轉(zhuǎn)速查看智能化：可自動識別哪個電機開或關(guān)，自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機上?？捎柘冗x定，也可在運行中隨時查看任一電機的轉(zhuǎn)速。
規(guī)格	外形尺寸：650x750x1620mm  外體顏色：亞白色